去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水，又称为“超纯水”或是“18兆欧水”。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
去离子水设备采用预处理、反渗透和后处理系统组成。（1）预处理部分主要工艺：加药处理、过滤处理 （2）反渗透部分主要工艺：高压泵、反渗透脱盐处理、反渗透清洗处理。（3）后处理系统：离子交换去离子处理、EDI脱盐处理。

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